常州諸善科技有限公司,2023年5月17日注冊成立于常州科教城,是一家初期創(chuàng)業(yè)型企業(yè)。我們致力于原子沉積閥ALD的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,實現(xiàn)進口替代和自主可控,打破半導體閥國產(chǎn)化率<1%的產(chǎn)業(yè)布局的使命擔當。目前,企業(yè)研發(fā)團隊由1名博士、3名碩士和1名本科階梯構成,核心成員分別在太陽能光伏、燃料電池、半導體、電子和流體領域深耕8-15年,研發(fā)、管理和生產(chǎn)經(jīng)驗豐富,成果顯著。項目產(chǎn)品原子沉積閥ALD安裝于薄膜沉積(CVD/PVD)、光刻、刻蝕(ALE)、外延工藝的OEM設備上,用于提供高溫、潔凈、一致性、穩(wěn)定和精密流量控制的氣體,用于太陽能光伏和燃料電池、晶圓和半導體芯片制造過程中的沉積工藝。